广州创展【咨询报价】-工厂空气净化工程公司-工厂空气净化工程

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学微电子净化工程净化原理

气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高1效净化风口→吹入房间→带走尘埃***等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程，即可达到净化目的。

光学微电子净化工程净化参数

换气次数：100000级≥15次；10000级≥20次；1000≥30次。压差：主车间对相邻房间≥5Pa

平均风速：10级、100级0.3－0.5m/s；温度 冬季gt;16℃；夏季 lt;26℃；波动±2℃。

温度45－65%；GMP车间湿度在50%左右为宜；电子车间湿度略高以免产生静电。

噪声≤65dB（A）；新风补充量是总送风量的10%－30%；照度300LX。

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1.确保洁净达标的保证措施

（1）为保证无尘车间工程的质量，对无尘车间的施工、验收、检测必须执行《施工***设计》、《***生产质量管理规范（GMP）98》和《洁净室施工及验收规范》。

（2）无尘车间施工前必须按洁净室主要施工程序制订详尽的施工协作计划，工厂空气净化工程价格，并严格按施工程序施工，工厂空气净化工程，每道工序要进行中间验收并记录。

（3）工程所用的主要材料、设备、成品半成品均须符合设计的规定，并有出厂合格证明或质量鉴定证明文件，没有出厂合格证明或对质量有怀疑时，必须进行检验，符合要求后方可使用。超过工厂保质期的材料不得使用。

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优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。

乱流式

缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，工厂空气净化工程公司，天花板之吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。

复合式(Mixed Type)：

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

(1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。

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